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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンノウセイ コウシュウハ マグネトロンスパツタリング ニ ヨル キノウセイ コーテイング
- 著者・編者
- 森, 敏彦, 名古屋大学
- 著者標目
- 森, 敏彦, 1946- モリ, トシヒコ, 1946- ( 00274161 )典拠
- 出版年月日等
- 1993-1994
- 出版年（W3CDTF）
- 1993
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- 反応性スパツタリング ハンノウセイスパツタリング高周波スパツタリング コウシユウハスパツタリングマグネトロンスパツタリング マグネトロンスパツタリング機能性コーテイング キノウセイコーテイング傾斜機能膜 ケイシヤキノウマクTiN膜 TINマクW膜 Wマク