反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング

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Material Type: 図書
Title: 反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング
Title Transcription: ハンノウセイコウシュウハマグネトロンスパツタリングニヨルキノウセイコーテイング
Author/Editor: 森, 敏彦, 名古屋大学
Author Heading: 森, 敏彦, 1946- モリ, トシヒコ, 1946- ( 00274161 )Authorities
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 反応性スパツタリングハンノウセイスパツタリング
高周波スパツタリングコウシユウハスパツタリング
マグネトロンスパツタリングマグネトロンスパツタリング
機能性コーテイングキノウセイコーテイング
傾斜機能膜ケイシヤキノウマク
TiN膜 TINマク
W膜 Wマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555043
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555043
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991822
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991822
Bibliographic Record Category (NDL): 214