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ダイヤモンド薄膜の常温合成技術の開発

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ダイヤモンド薄膜の常温合成技術の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555087
国立国会図書館書誌ID
000006991863
資料種別
図書
著者
平木, 昭夫, 大阪大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダイヤモンド ハクマク ノ ジョウオン ゴウセイ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
平木, 昭夫, 大阪大学
著者標目
平木, 昭夫 ヒラキ, アキオ
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
ダイヤモンド ダイヤモンド
半導体材料 ハンドウタイザイリヨウ
多結晶薄膜 タケツシヨウハクマク
ECR放電 ECRホウデン
プラズマCVD プラズマCVD
パルス変調 パルスヘンチヨウ
発光分光測定 ハツコウブンコウソクテイ
赤外レーザー吸収分光測定 セキガイレーザーキユウシユウブンコウソクテイ