ダイヤモンド薄膜の常温合成技術の開発

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Material Type: 図書
Title: ダイヤモンド薄膜の常温合成技術の開発
Title Transcription: ダイヤモンドハクマクノジョウオンゴウセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 平木, 昭夫, 大阪大学
Author Heading: 平木, 昭夫ヒラキ, アキオ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: ダイヤモンドダイヤモンド
半導体材料ハンドウタイザイリヨウ
多結晶薄膜タケツシヨウハクマク
ECR放電 ECRホウデン
プラズマCVD プラズマCVD
パルス変調パルスヘンチヨウ
発光分光測定ハツコウブンコウソクテイ
赤外レーザー吸収分光測定セキガイレーザーキユウシユウブンコウソクテイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555087
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555087
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991863
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991863
Bibliographic Record Category (NDL): 214