スクリーン印刷法を用いた高感度半導体圧力センサの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: スクリーン印刷法を用いた高感度半導体圧力センサの開発
• タイトルよみ: スクリーン インサツホウ オ モチイタ コウカンド ハンドウタイ アツリョク センサ ノ カイハツ
• 著者・編者: 石原, 宏, 東京工業大学
• 著者標目: 石原, 宏, 1945- イシハラ, ヒロシ, 1945- ( 00193235 )典拠
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 圧力センサ アツリヨクセンサ; 半導体 ハンドウタイ; CdS CDS; ダイアフラム ダイアフラム; スクリーン印刷 スクリーンインサツ; ガラス薄膜 ガラスハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05555097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05555097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006991872; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991872
• 整理区分コード: 214