スクリーン印刷法を用いた高感度半導体圧力センサの開発

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Material Type: 図書
Title: スクリーン印刷法を用いた高感度半導体圧力センサの開発
Title Transcription: スクリーンインサツホウオモチイタコウカンドハンドウタイアツリョクセンサノカイハツ
Author/Editor: 石原, 宏, 東京工業大学
Author Heading: 石原, 宏, 1945- イシハラ, ヒロシ, 1945- ( 00193235 )Authorities
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 圧力センサアツリヨクセンサ
半導体ハンドウタイ
CdS CDS
ダイアフラムダイアフラム
スクリーン印刷スクリーンインサツ
ガラス薄膜ガラスハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555097
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555097
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991872
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991872
Bibliographic Record Category (NDL): 214