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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シン ホウシキ ECR アンテナ ニ ヨル プロセスヨウ ダイ メンセキ キンイツ プラズマ ノ セイセイ
- 著者・編者
- 佐藤, 徳芳, 東北大学
- 著者標目
- 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ
- 出版年月日等
- 1993-1995
- 出版年（W3CDTF）
- 1993
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
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