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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- シン ホウシキ ECR アンテナ ニ ヨル プロセスヨウ ダイ メンセキ キンイツ プラズマ ノ セイセイ
- Author/Editor
- 佐藤, 徳芳, 東北大学
- Author Heading
- 佐藤, 徳芳 サトウ, ノリヨシ
- Publication Date
- 1993-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1993
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究(B)