電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析
• タイトルよみ: デンカ イドウ モデル ニ ヨル プラズマ CVD チッカ(サンカ)Si マク ノ ビシテキ ケツゴウ コウゾウ ヘンカ ノ カイセキ
• 著者・編者: 長谷川, 誠一, 金沢大学
• 著者標目: 長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: シリコン窒化膜 シリコンチツカマク; シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; プラズマCVD プラズマCVD; 結合構造 ケツゴウコウゾウ; 電荷移動モデル デンカイドウモデル; ランダム結合モデル ランダムケツゴウモデル; 赤外吸収 セキガイキユウシユウ; ストレス ストレス
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05650009
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05650009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006992809; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992809
• 整理区分コード: 214