電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

• Material Type: 図書
• Title: 電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析
• Title Transcription: デンカ イドウ モデル ニ ヨル プラズマ CVD チッカ(サンカ)Si マク ノ ビシテキ ケツゴウ コウゾウ ヘンカ ノ カイセキ
• Author/Editor: 長谷川, 誠一, 金沢大学
• Author Heading: 長谷川, 誠一 ハセガワ, セイイチ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: シリコン窒化膜 シリコンチツカマク; シリコン酸化膜 シリコンサンカマク; プラズマCVD プラズマCVD; 結合構造 ケツゴウコウゾウ; 電荷移動モデル デンカイドウモデル; ランダム結合モデル ランダムケツゴウモデル; 赤外吸収 セキガイキユウシユウ; ストレス ストレス
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05650009
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05650009
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006992809; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992809
• Bibliographic Record Category (NDL): 214