PLAS法によるa-Si:H/aSi3N4:H界面の動的性質の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: PLAS法によるa-Si:H/aSi3N4:H界面の動的性質の解明
• タイトルよみ: PLAS ホウ ニ ヨル a-Si:H/aSi3N4:H カイメン ノ ドウテキ セイシツ ノ カイメイ
• 著者・編者: 仁田, 昌二, 岐阜大学
• 著者標目: 仁田, 昌二 ニッタ, ショウジ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: アモルフアスシリコンa-Si: H アモルフアスシリコンA-SI: H; 光ルミネツセンス ヒカリルミネツセンス; PLAS PLAS; 吸収係数 キユウシユウケイスウ; TICS TICS; TEOS TEOS; a-Si3N4: H A-SI3N4: H; a-SiO2 A-SIO2
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05650011
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05650011
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006992810; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992810
• 整理区分コード: 214