PLAS法によるa-Si:H/aSi3N4:H界面の動的性質の解明

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Material Type: 図書
Title: PLAS法によるa-Si:H/aSi3N4:H界面の動的性質の解明
Title Transcription: PLAS ホウニヨル a-Si:H/aSi3N4:H カイメンノドウテキセイシツノカイメイ
Author/Editor: 仁田, 昌二, 岐阜大学
Author Heading: 仁田, 昌二ニッタ, ショウジ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: アモルフアスシリコンa-Si: H アモルフアスシリコンA-SI: H
光ルミネツセンスヒカリルミネツセンス
PLAS PLAS
吸収係数キユウシユウケイスウ
TICS TICS
TEOS TEOS
a-Si3N4: H A-SI3N4: H
a-SiO2 A-SIO2
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05650011
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05650011
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006992810
http://id.ndl.go.jp/bib/000006992810
Bibliographic Record Category (NDL): 214