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図書
低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究
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低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H05650310
国立国会図書館書誌ID
000006992946
資料種別
図書
著者
斎藤, 洋司, 成蹊大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究
タイトルよみ
テイエネルギー スイソ ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン パツシベーシヨン ノ ケンキュウ
著者・編者
斎藤, 洋司, 成蹊大学
著者標目
齋藤, 洋司
サイトウ, ヨウジ (
01084261
)
典拠
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
熱励起
ネツレイキ
リモートプラズマ
リモートプラズマ
原子状水素
ゲンシジヨウスイソ
シリコン表面
シリコンヒヨウメン
吸着フツ素
キユウチヤクフツソ
水素パツシベーシヨン
スイソパツシベーシヨン
多結晶シリコン膜
タケツシヨウシリコンマク
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
05650310
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H05650310
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006992946
http://id.ndl.go.jp/bib/000006992946
整理区分コード
214
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