低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究
Title Transcription: テイエネルギースイソニヨルハンドウタイヒョウメンパツシベーシヨンノケンキュウ
Author/Editor: 斎藤, 洋司, 成蹊大学
Author Heading: 齋藤, 洋司サイトウ, ヨウジ ( 01084261 )Authorities
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 熱励起ネツレイキ
リモートプラズマリモートプラズマ
原子状水素ゲンシジヨウスイソ
シリコン表面シリコンヒヨウメン
吸着フツ素キユウチヤクフツソ
水素パツシベーシヨンスイソパツシベーシヨン
多結晶シリコン膜タケツシヨウシリコンマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05650310
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05650310
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006992946
http://id.ndl.go.jp/bib/000006992946
Bibliographic Record Category (NDL): 214