水素化アモルフアスシリコン薄膜の微結晶化温度の高精度測定法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 水素化アモルフアスシリコン薄膜の微結晶化温度の高精度測定法の開発
• タイトルよみ: スイソカ アモルフアスシリコン ハクマク ノ ビケッショウカ オンド ノ コウセイド ソクテイホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 本橋, 光也, 東京電機大学
• 著者標目: 本橋, 光也 モトハシ, ミツヤ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; 微結晶化温度 ビケツシヨウカオンド; 水素放出特性 スイソホウシユツトクセイ; 膜構造評価 マクコウゾウヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05650312
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05650312
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006992948; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992948
• 整理区分コード: 214