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水素化アモルフアスシリコン薄膜の微結晶化温度の高精度測定法の開発

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水素化アモルフアスシリコン薄膜の微結晶化温度の高精度測定法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H05650312
Bibliographic ID of National Diet Library
000006992948
Material type
図書
Author
本橋, 光也, 東京電機大学
Publisher
-
Publication date
1993-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソカ アモルフアスシリコン ハクマク ノ ビケッショウカ オンド ノ コウセイド ソクテイホウ ノ カイハツ
Author/Editor
本橋, 光也, 東京電機大学
Author Heading
本橋, 光也 モトハシ, ミツヤ
Publication Date
1993-1994
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン
微結晶化温度 ビケツシヨウカオンド
水素放出特性 スイソホウシユツトクセイ
膜構造評価 マクコウゾウヒヨウカ