ECRプラズマCVDによる高品質微結晶ゲルマニウム膜の成膜法

• 資料種別: 図書
• タイトル: ECRプラズマCVDによる高品質微結晶ゲルマニウム膜の成膜法
• タイトルよみ: ECR プラズマ CVD ニ ヨル コウヒンシツ ビケッショウ ゲルマニウムマク ノ セイマクホウ
• 著者・編者: 青木, 彪, 東京工芸大学
• 著者標目: 青木, 彪 アオキ, タケシ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: ゲルマニウム膜 ゲルマニウムマク; ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD; アモルフアス・微結晶相転移 アモルフアス・ビケツシヨウソウテンイ; 光電特性 コウデントクセイ; HALL移動度 HALLイドウド; TFT TFT; 表面電界効果移動度 ヒヨウメンデンカイコウカイドウド; 光劣化効果 ヒカリレツカコウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05650314
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05650314
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006992950; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992950
• 整理区分コード: 214