ECRプラズマCVDによる高品質微結晶ゲルマニウム膜の成膜法

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Material Type: 図書
Title: ECRプラズマCVDによる高品質微結晶ゲルマニウム膜の成膜法
Title Transcription: ECR プラズマ CVD ニヨルコウヒンシツビケッショウゲルマニウムマクノセイマクホウ
Author/Editor: 青木, 彪, 東京工芸大学
Author Heading: 青木, 彪アオキ, タケシ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: ゲルマニウム膜ゲルマニウムマク
ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD
アモルフアス・微結晶相転移アモルフアス・ビケツシヨウソウテンイ
光電特性コウデントクセイ
HALL移動度 HALLイドウド
TFT TFT
表面電界効果移動度ヒヨウメンデンカイコウカイドウド
光劣化効果ヒカリレツカコウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05650314
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05650314
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006992950
http://id.ndl.go.jp/bib/000006992950
Bibliographic Record Category (NDL): 214