薄膜付着のマイクロメカニクスと強度非破壊評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 薄膜付着のマイクロメカニクスと強度非破壊評価
• タイトルよみ: ハクマク フチャク ノ マイクロメカニクス ト キョウド ヒハカイ ヒョウカ
• 著者・編者: 阿部, 博之, 東北大学
• 著者標目: 阿部, 博之 アベ, ヒロユキ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 薄膜 ハクマク; 核発生 カクハツセイ; ダイヤモンド ダイヤモンド; シリコン シリコン; 超音波 チヨウオンパ; 付着 フチヤク; 電子デバイス デンシデバイス; 非破壊評価 ヒハカイヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05805009
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05805009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006994960; http://id.ndl.go.jp/bib/000006994960
• 整理区分コード: 214