薄膜付着のマイクロメカニクスと強度非破壊評価

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Material Type: 図書
Title: 薄膜付着のマイクロメカニクスと強度非破壊評価
Title Transcription: ハクマクフチャクノマイクロメカニクストキョウドヒハカイヒョウカ
Author/Editor: 阿部, 博之, 東北大学
Author Heading: 阿部, 博之アベ, ヒロユキ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 薄膜ハクマク
核発生カクハツセイ
ダイヤモンドダイヤモンド
シリコンシリコン
超音波チヨウオンパ
付着フチヤク
電子デバイスデンシデバイス
非破壊評価ヒハカイヒヨウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05805009
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05805009
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006994960
http://id.ndl.go.jp/bib/000006994960
Bibliographic Record Category (NDL): 214