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レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

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レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452159
国立国会図書館書誌ID
000006996064
資料種別
図書
著者
山口, 勝美, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
レーザビーム ビョウガ ニ ヨル シガイセン カンコウセイ ジュシ オ リヨウ シタ マイクロストラクチエア ノ セイゾウ
著者・編者
山口, 勝美, 名古屋大学
著者標目
山口, 勝美 ヤマグチ, カツミ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
マイクロ部品 マイクロブヒン
紫外線感光性樹脂 シガイセンカンコウセイジユシ
集束レーザビーム シユウソクレーザビーム
高アスペクト比 コウアスペクトヒ
3次元形状 3ジゲンケイジヨウ
ビーム描画 ビームビヨウガ
光の吸収 ヒカリノキユウシユウ