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図書

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

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レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

Call No. (NDL)
Y151-H06452159
Bibliographic ID of National Diet Library
000006996064
Material type
図書
Author
山口, 勝美, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レーザビーム ビョウガ ニ ヨル シガイセン カンコウセイ ジュシ オ リヨウ シタ マイクロストラクチエア ノ セイゾウ
Author/Editor
山口, 勝美, 名古屋大学
Author Heading
山口, 勝美 ヤマグチ, カツミ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
マイクロ部品 マイクロブヒン
紫外線感光性樹脂 シガイセンカンコウセイジユシ
集束レーザビーム シユウソクレーザビーム
高アスペクト比 コウアスペクトヒ
3次元形状 3ジゲンケイジヨウ
ビーム描画 ビームビヨウガ
光の吸収 ヒカリノキユウシユウ