STM/STSによるシリコンウエーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

• 資料種別: 図書
• タイトル: STM/STSによるシリコンウエーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析
• タイトルよみ: STM/STS ニ ヨル シリコンウエーハ ヒョウメン ノ キンゾク オセンブツ ノ キョクビリョウ ゲンソ ブンセキ
• 著者・編者: 遠藤, 勝義, 大阪大学
• 著者標目: 遠藤, 勝義 エンドウ, カツヨシ
• 出版年月日等: 1994-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: STM/STS STM/STS; Ab-initio分子軌道法 AB-INITIOブンシキドウホウ; 水素終端化Si表面 スイソシユウタンカSIヒヨウメン; 第一原理分子動力学 ダイイチゲンリブンシドウリキガク; 局所状態密度 キヨクシヨジヨウタイミツド; Si (001) 2 1表面 SI (001) 21ヒヨウメン; 元素分析 ゲンソブンセキ; Siウエーハ SIウエーハ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06452160
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06452160
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006996065; http://id.ndl.go.jp/bib/000006996065
• 整理区分コード: 214