STM/STSによるシリコンウエーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: STM/STSによるシリコンウエーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析
Title Transcription: STM/STS ニヨルシリコンウエーハヒョウメンノキンゾクオセンブツノキョクビリョウゲンソブンセキ
Author/Editor: 遠藤, 勝義, 大阪大学
Author Heading: 遠藤, 勝義エンドウ, カツヨシ
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: STM/STS STM/STS
Ab-initio分子軌道法 AB-INITIOブンシキドウホウ
水素終端化Si表面スイソシユウタンカSIヒヨウメン
第一原理分子動力学ダイイチゲンリブンシドウリキガク
局所状態密度キヨクシヨジヨウタイミツド
Si (001) 2 1表面 SI (001) 21ヒヨウメン
元素分析ゲンソブンセキ
Siウエーハ SIウエーハ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452160
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452160
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996065
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996065
Bibliographic Record Category (NDL): 214