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Si原子層エツチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究

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Si原子層エツチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452211
国立国会図書館書誌ID
000006996111
資料種別
図書
著者
松浦, 孝, 東北大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Si ゲンシソウ エツチング ヒョウメン ニ オケル ジコ セイゲンガタ ヒョウメン キュウチャク ・ ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
松浦, 孝, 東北大学
著者標目
松浦, 孝 マツウラ, タカシ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
原子層エツチング ゲンシソウエツチング
自己制限型吸着 ジコセイゲンガタキユウチヤク
シリコン シリコン
面方位依存性 メンホウイイゾンセイ
ECR塩素プラズマ ECRエンソプラズマ
低エネルギーAr+イオン照射 テイエネルギーAR+イオンシヨウシヤ
ゲルマニウム ゲルマニウム
極微細MOS キヨクビサイMOS