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図書

Si原子層エツチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究

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Si原子層エツチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H06452211
Bibliographic ID of National Diet Library
000006996111
Material type
図書
Author
松浦, 孝, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Si ゲンシソウ エツチング ヒョウメン ニ オケル ジコ セイゲンガタ ヒョウメン キュウチャク ・ ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松浦, 孝, 東北大学
Author Heading
松浦, 孝 マツウラ, タカシ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
原子層エツチング ゲンシソウエツチング
自己制限型吸着 ジコセイゲンガタキユウチヤク
シリコン シリコン
面方位依存性 メンホウイイゾンセイ
ECR塩素プラズマ ECRエンソプラズマ
低エネルギーAr+イオン照射 テイエネルギーAR+イオンシヨウシヤ
ゲルマニウム ゲルマニウム
極微細MOS キヨクビサイMOS