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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゴク ビサイ リョウイキ センタク エピタキシヤル セイチョウホウ ノ キソテキ ケンキュウ
- 著者・編者
- 石田, 誠, 豊橋技術科学大学
- 著者標目
- 石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )典拠
- 出版年月日等
- 1994-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 選択エピタキシー センタクエピタキシー電子ビーム照射 デンシビームシヨウシヤSi/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成 SI/AL2O3ヘテロエピタキシヤルセイSOI構造 SOIコウゾウAl2O3薄膜 AL2O3ハクマク