Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ゴク ビサイ リョウイキ センタク エピタキシヤル セイチョウホウ ノ キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 石田, 誠, 豊橋技術科学大学
- Author Heading
- 石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )Authorities
- Publication Date
- 1994-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 選択エピタキシー センタクエピタキシー電子ビーム照射 デンシビームシヨウシヤSi/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成 SI/AL2O3ヘテロエピタキシヤルセイSOI構造 SOIコウゾウAl2O3薄膜 AL2O3ハクマク