極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究
Title Transcription: ゴクビサイリョウイキセンタクエピタキシヤルセイチョウホウノキソテキケンキュウ
Author/Editor: 石田, 誠, 豊橋技術科学大学
Author Heading: 石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )Authorities
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 選択エピタキシーセンタクエピタキシー
電子ビーム照射デンシビームシヨウシヤ
Si/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成 SI/AL2O3ヘテロエピタキシヤルセイ
SOI構造 SOIコウゾウ
Al2O3薄膜 AL2O3ハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452216
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452216
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996115
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996115
Bibliographic Record Category (NDL): 214