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極浅Pn接合形成とドーパント濃度分布のモデリング

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極浅Pn接合形成とドーパント濃度分布のモデリング

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452233
国立国会図書館書誌ID
000006996129
資料種別
図書
著者
桑野, 博, 慶応義塾大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゴクセン Pn セツゴウ ケイセイ ト ドーパント ノウド ブンプ ノ モデリング
著者・編者
桑野, 博, 慶応義塾大学
著者標目
桑野, 博 クワノ, ヒロシ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
ボロン拡散 ボロンカクサン
シリコン シリコン
極浅接合 キヨクセンセツゴウ
ドーパント分布のモデリング ドーパントブンプノモデリング
急速熱拡散 キユウソクネツカクサン
元素ボロン拡散源 ゲンソボロンカクサンゲン