極浅Pn接合形成とドーパント濃度分布のモデリング

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Material Type: 図書
Title: 極浅Pn接合形成とドーパント濃度分布のモデリング
Title Transcription: ゴクセン Pn セツゴウケイセイトドーパントノウドブンプノモデリング
Author/Editor: 桑野, 博, 慶応義塾大学
Author Heading: 桑野, 博クワノ, ヒロシ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: ボロン拡散ボロンカクサン
シリコンシリコン
極浅接合キヨクセンセツゴウ
ドーパント分布のモデリングドーパントブンプノモデリング
急速熱拡散キユウソクネツカクサン
元素ボロン拡散源ゲンソボロンカクサンゲン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452233
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452233
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996129
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996129
Bibliographic Record Category (NDL): 214