書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- テイジョウカ ケンキュウ ニ オケル ダイイチヘキ ノ コンデイシヨニングホウ
- 著者・編者
- 菅井, 秀郎, 名古屋大学
- 著者標目
- 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年（W3CDTF）
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 第一壁コンデイシヨニング ダイ1ヘキコンデイシヨニングボロンコーテイング ボロンコーテイングリチウムコーテイング リチウムコーテイング水素リサイクリング スイソリサイクリング酸素ゲツタリング サンソゲツタリング不純物制御 フジユンブツセイギヨデカボラン デカボランECRプラズマ ECRプラズマ