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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- テイジョウカ ケンキュウ ニ オケル ダイイチヘキ ノ コンデイシヨニングホウ
- Author/Editor
- 菅井, 秀郎, 名古屋大学
- Author Heading
- 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
- Publication Date
- 1994-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 第一壁コンデイシヨニング ダイ1ヘキコンデイシヨニングボロンコーテイング ボロンコーテイングリチウムコーテイング リチウムコーテイング水素リサイクリング スイソリサイクリング酸素ゲツタリング サンソゲツタリング不純物制御 フジユンブツセイギヨデカボラン デカボランECRプラズマ ECRプラズマ