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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ラジカル セイギョ ニ ヨル コウコウリツ アモルフアス タイヨウ デンチ ノ セイサク
- 著者・編者
- 上迫, 浩一, 東京農工大学
- 著者標目
- 上迫, 浩一 カミサコ, コウイチ
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年(W3CDTF)
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- アモルフアス太陽電池 アモルフアスタイヨウデンチアモルフアスシリコン アモルフアスシリコン微結晶シリコン ビケツシヨウシリコンアモルフアスシリコンカーバイド アモルフアスシリコンカーバイド水素ラジカルCVD スイソラジカルCVD成膜機構 セイマクキコウ