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ラジカル制御による高効率アモルフアス太陽電池の製作

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ラジカル制御による高効率アモルフアス太陽電池の製作

国立国会図書館請求記号
Y151-H06452427
国立国会図書館書誌ID
000006996306
資料種別
図書
著者
上迫, 浩一, 東京農工大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ラジカル セイギョ ニ ヨル コウコウリツ アモルフアス タイヨウ デンチ ノ セイサク
著者・編者
上迫, 浩一, 東京農工大学
著者標目
上迫, 浩一 カミサコ, コウイチ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
アモルフアス太陽電池 アモルフアスタイヨウデンチ
アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン
微結晶シリコン ビケツシヨウシリコン
アモルフアスシリコンカーバイド アモルフアスシリコンカーバイド
水素ラジカルCVD スイソラジカルCVD
成膜機構 セイマクキコウ