ラジカル制御による高効率アモルフアス太陽電池の製作

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Material Type: 図書
Title: ラジカル制御による高効率アモルフアス太陽電池の製作
Title Transcription: ラジカルセイギョニヨルコウコウリツアモルフアスタイヨウデンチノセイサク
Author/Editor: 上迫, 浩一, 東京農工大学
Author Heading: 上迫, 浩一カミサコ, コウイチ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: アモルフアス太陽電池アモルフアスタイヨウデンチ
アモルフアスシリコンアモルフアスシリコン
微結晶シリコンビケツシヨウシリコン
アモルフアスシリコンカーバイドアモルフアスシリコンカーバイド
水素ラジカルCVD スイソラジカルCVD
成膜機構セイマクキコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452427
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452427
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996306
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996306
Bibliographic Record Category (NDL): 214