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積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究

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積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555011
国立国会図書館書誌ID
000006997277
資料種別
図書
著者
川上, 彰二郎, 東北大学
出版者
-
出版年
1994-1996
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究
タイトルよみ
セキソウ コウゾウ オ モツ チョウコガタ ヘンコウ ブンリ ソシ ノ カイハツ ケンキュウ
著者・編者
川上, 彰二郎, 東北大学
著者標目
川上, 彰二郎 カワカミ, ショウジロウ
出版年月日等
1994-1996
出版年（W3CDTF）
1994
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
光集積デバイス ヒカリシユウセキデバイス
偏光分離素子 ヘンコウブンリソシ
光アイソレータ ヒカリアイソレータ
光スイツチ ヒカリスイツチ
多層膜 タソウマク
RFスパツタリング RFスパツタリング
プラズマCVD プラズマCVD