積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究

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Material Type: 図書
Title: 積層構造をもつ超小型偏光分離素子の開発研究
Title Transcription: セキソウコウゾウオモツチョウコガタヘンコウブンリソシノカイハツケンキュウ
Author/Editor: 川上, 彰二郎, 東北大学
Author Heading: 川上, 彰二郎カワカミ, ショウジロウ
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 光集積デバイスヒカリシユウセキデバイス
偏光分離素子ヘンコウブンリソシ
光アイソレータヒカリアイソレータ
光スイツチヒカリスイツチ
多層膜タソウマク
RFスパツタリング RFスパツタリング
プラズマCVD プラズマCVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555011
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555011
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997277
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997277
Bibliographic Record Category (NDL): 214