気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
• タイトルよみ: キソウ チュウ ビリュウシ ノ リュウケイ ・ ミツド ・ クッセツリツ ノ チョウコウカンド レーザ ヘンコウ サンラン ソノ バ ケイソクホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 白谷正治, 九州大学
• 著者標目: 白谷, 正治 シラタニ, マサハル
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994; 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: レーザ散乱 レーザサンラン; 2次元計測 2ジゲンケイソク; その場計測 ソノバケイソク; 偏光 ヘンコウ; 微粒子 ビリユウシ; プラズマCVD プラズマCVD; プラズマプロセス プラズマプロセス; シランプラズマ シランプラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555023
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555023
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997287; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997287
• 整理区分コード: 214