気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

• Material Type: 図書
• Title: 気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
• Title Transcription: キソウ チュウ ビリュウシ ノ リュウケイ ・ ミツド ・ クッセツリツ ノ チョウコウカンド レーザ ヘンコウ サンラン ソノ バ ケイソクホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 白谷正治, 九州大学
• Author Heading: 白谷, 正治 シラタニ, マサハル
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994; 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: レーザ散乱 レーザサンラン; 2次元計測 2ジゲンケイソク; その場計測 ソノバケイソク; 偏光 ヘンコウ; 微粒子 ビリユウシ; プラズマCVD プラズマCVD; プラズマプロセス プラズマプロセス; シランプラズマ シランプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555023
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06555023
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006997287; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997287
• Bibliographic Record Category (NDL): 214