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レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工法に関する研究

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レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工法に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H06555033
国立国会図書館書誌ID
000006997297
資料種別
図書
著者
池野, 順一, 豊橋技術科学大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
レーザ ショウシャ ニ ヨル チョウビリュウシ ノ カイテン ウンドウ オ リヨウ シタ チョウセイミツ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
池野, 順一, 豊橋技術科学大学
著者標目
池野, 順一 イケノ, ジュンイチ
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
レーザトラツピング レーザトラツピング
マイクロメカニズム マイクロメカニズム
マイクロマシニング マイクロマシニング
微粒子 ビリユウシ
YAGレーザ YAGレーザ
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
8次元計測 8ジゲンケイソク