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レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工法に関する研究

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レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工法に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H06555033
Bibliographic ID of National Diet Library
000006997297
Material type
図書
Author
池野, 順一, 豊橋技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レーザ ショウシャ ニ ヨル チョウビリュウシ ノ カイテン ウンドウ オ リヨウ シタ チョウセイミツ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
池野, 順一, 豊橋技術科学大学
Author Heading
池野, 順一 イケノ, ジュンイチ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
レーザトラツピング レーザトラツピング
マイクロメカニズム マイクロメカニズム
マイクロマシニング マイクロマシニング
微粒子 ビリユウシ
YAGレーザ YAGレーザ
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
8次元計測 8ジゲンケイソク