超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発
• タイトルよみ: チョウコガタジソウ キカイグン オ モチイタ チョウコウシンクウヨウ ヒョウメン ビサイ コウゾウ ノ カコウ ソクテイ システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 青山, 尚之, 静岡大学
• 著者標目: 青山, 尚之 アオヤマ, ヒサユキ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 超小型自走機械 チヨウコガタジソウキカイ; 超高真空 チヨウコウシンクウ; 表面微細構造 ヒヨウメンビサイコウゾウ; 加工 カコウ; 測定 ソクテイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555035
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555035
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997299; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997299
• 整理区分コード: 214