超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工測定システムの開発
Title Transcription: チョウコガタジソウキカイグンオモチイタチョウコウシンクウヨウヒョウメンビサイコウゾウノカコウソクテイシステムノカイハツ
Author/Editor: 青山, 尚之, 静岡大学
Author Heading: 青山, 尚之アオヤマ, ヒサユキ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 超小型自走機械チヨウコガタジソウキカイ
超高真空チヨウコウシンクウ
表面微細構造ヒヨウメンビサイコウゾウ
加工カコウ
測定ソクテイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555035
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555035
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997299
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997299
Bibliographic Record Category (NDL): 214