大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発
• タイトルよみ: タイキアツ プラズマ オ リヨウ シタ EEM ヨウ フンマツ リュウシ サクセイ ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 森, 勇蔵, 大阪大学
• 著者標目: 森, 勇蔵 モリ, ユウゾウ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: EEM EEM; 大気圧プラズマ タイキアツプラズマ; 超微粒子 チヨウビリユウシ; SiH4 SIH4; プラズマCVD プラズマCVD
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555038
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555038
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997302; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997302
• 整理区分コード: 214