大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発
Title Transcription: タイキアツプラズマオリヨウシタ EEM ヨウフンマツリュウシサクセイソウチノカイハツ
Author/Editor: 森, 勇蔵, 大阪大学
Author Heading: 森, 勇蔵モリ, ユウゾウ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: EEM EEM
大気圧プラズマタイキアツプラズマ
超微粒子チヨウビリユウシ
SiH4 SIH4
プラズマCVD プラズマCVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555038
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555038
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997302
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997302
Bibliographic Record Category (NDL): 214