Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発
• タイトルよみ: Walking Drive ニ ヨル ドウジ 3 ジク ナノメータ セイギョ チョウセイミツ カコウキ ノ カイハツ
• 著者・編者: 森脇, 俊道, 神戸大学
• 著者標目: 森脇, 俊道 モリワキ, トシミチ
• 出版年月日等: 1994-
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: Walking Drive WALKINGDRIVE; 超精密加工機 チヨウセイミツカコウキ; 圧電素子 アツデンソシ; 精密送りテーブル セイミツソウリテーブル; 超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ; ナノテクノロジー ナノテクノロジー; 運動精度 ウンドウセイド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555039
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555039
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997303; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997303
• 整理区分コード: 214