図書

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

Icons representing 図書

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

Call No. (NDL)
Y151-H06555039
Bibliographic ID of National Diet Library
000006997303
Material type
図書
Author
森脇, 俊道, 神戸大学
Publisher
-
Publication date
1994-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Walking Drive ニ ヨル ドウジ 3 ジク ナノメータ セイギョ チョウセイミツ カコウキ ノ カイハツ
Author/Editor
森脇, 俊道, 神戸大学
Author Heading
森脇, 俊道 モリワキ, トシミチ
Publication Date
1994-
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
Walking Drive WALKINGDRIVE
超精密加工機 チヨウセイミツカコウキ
圧電素子 アツデンソシ
精密送りテーブル セイミツソウリテーブル
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
ナノテクノロジー ナノテクノロジー
運動精度 ウンドウセイド