高機能濃縮-吸光検出系からなる半導体用超純水の簡易品質モニタリング機器の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高機能濃縮-吸光検出系からなる半導体用超純水の簡易品質モニタリング機器の開発
• タイトルよみ: コウキノウ ノウシュク-キュウコウ ケンシュツケイ カラ ナル ハンドウタイヨウ チョウジュンスイ ノ カンイ ヒンシツ モニタリング キキ ノ カイハツ
• 著者・編者: 星野, 仁, 東北大学
• 著者標目: 星野, 仁 ホシノ, ヒトシ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: ケイ酸 ケイサン; シリカ シリカ; 超純水 チヨウジユンスイ; 品質管理 ヒンシツカンリ; モニタリング モニタリング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06555252
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06555252
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006997502; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997502
• 整理区分コード: 214