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高機能濃縮-吸光検出系からなる半導体用超純水の簡易品質モニタリング機器の開発

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高機能濃縮-吸光検出系からなる半導体用超純水の簡易品質モニタリング機器の開発

Call No. (NDL)
Y151-H06555252
Bibliographic ID of National Diet Library
000006997502
Material type
図書
Author
星野, 仁, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウキノウ ノウシュク-キュウコウ ケンシュツケイ カラ ナル ハンドウタイヨウ チョウジュンスイ ノ カンイ ヒンシツ モニタリング キキ ノ カイハツ
Author/Editor
星野, 仁, 東北大学
Author Heading
星野, 仁 ホシノ, ヒトシ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
ケイ酸 ケイサン
シリカ シリカ
超純水 チヨウジユンスイ
品質管理 ヒンシツカンリ
モニタリング モニタリング