ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化

• 資料種別: 図書
• タイトル: ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化
• タイトルよみ: AC プラズマアシスト CVD ニ ヨル Si キバン ジョウ ヘ ノ SiC ケッショウ セイチョウ ノ テイオンカ ト ダイ メンセキカ
• 著者・編者: 清水, 秀己, 愛知教育大学
• 著者標目: 清水, 秀己 シミズ, ヒデキ
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: プラズマアシストCVD プラズマアシストCVD; 3C-SiC 3C-SIC; ヘテロエピタキシヤル ヘテロエピタキシヤル; 低温化 テイオンカ; 大面積化 ダイメンセキカ; プラズマプロセシング プラズマプロセシング; プラズマ発光分光分析 プラズマハツコウブンコウブンセキ; プラズマ温度 プラズマオンド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 06650015
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H06650015
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006998723; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998723
• 整理区分コード: 214