ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化

• Material Type: 図書
• Title: ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化
• Title Transcription: AC プラズマアシスト CVD ニ ヨル Si キバン ジョウ ヘ ノ SiC ケッショウ セイチョウ ノ テイオンカ ト ダイ メンセキカ
• Author/Editor: 清水, 秀己, 愛知教育大学
• Author Heading: 清水, 秀己 シミズ, ヒデキ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: プラズマアシストCVD プラズマアシストCVD; 3C-SiC 3C-SIC; ヘテロエピタキシヤル ヘテロエピタキシヤル; 低温化 テイオンカ; 大面積化 ダイメンセキカ; プラズマプロセシング プラズマプロセシング; プラズマ発光分光分析 プラズマハツコウブンコウブンセキ; プラズマ温度 プラズマオンド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650015
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650015
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998723; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998723
• Bibliographic Record Category (NDL): 214